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Vakuumbeschichtung

Verfahren und Anlagen

Gerard Kienel Klaus Röll Gerard Kienglishel

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Paperback

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QTY:

German
Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. K
14 October 2012
Series: VDI-Buch
Schwerpunkte in Band 2 bilden das Aufdampfen im Hochvakuum, das Ionenplattieren, die Kathodenzerst�ubung, teilchengest�tzte Verfahren, die Erzeugung von Mikrostrukturen, Plasmabehandlungsverfahren und die Abscheidung aus der Gasphase (CVD).
Edited by:   , ,
Imprint:   Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. K
Country of Publication:   Germany
Edition:   Softcover reprint of the original 1st ed. 1995
Dimensions:   Height: 244mm,  Width: 170mm,  Spine: 26mm
Weight:   854g
ISBN:   9783642633980
ISBN 10:   3642633986
Series:   VDI-Buch
Pages:   481
Publication Date:  
Audience:   Professional and scholarly ,  Undergraduate
Format:   Paperback
Publisher's Status:   Active

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